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產品中心

MA300 圖形電鍍係列幹膜光阻劑

    MA300 圖形電鍍係列幹膜光阻劑

MA300 圖形電鍍係列幹膜光阻劑是一種具備自動檢測能力、高效率、全水溶性的幹膜光阻劑,可使用於內層和外層的應用。本產品在酸性蝕刻、蓋孔與蝕刻和酸性電鍍製程中均有突出表現。

特色及優點

高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距

**的貼合度-高良率

高附著力-高良率

**的圖像顯示對比,具備自動光學檢測能力

特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2

項目
單位
MA312
MA315
備注
厚度
μm
30
38

感度*1
mj/cm2
25
30

*短顯影時間
sec.
20
25

附著力*1*2(L/S=X/250)
μm
25
30

解析度*1*2(L/S=X/X)
μm
25
30

蓋孔孔徑
μm
//
6.5

*1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海聖平行光曝光機製作(UVE-HSP5K-11

*2:1wt%Na2CO3,30℃,*短顯影時間x2

*3:分辨率、解析度以及顯影後圖像。



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