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MP500 選化沉金係列幹膜光阻劑

    MP500 選化沉金係列幹膜光阻劑

MP500 選化沉金係列幹膜光阻劑特別針對高解析度線路,具有優秀的耐堿性蝕刻性能。MP515和MP520可幾乎應用於所有電鍍工藝,包括鍍金。

特色及優點

極好的耐堿性蝕刻性能

高解析度

較好地應用於圖形電鍍

較好地應用於直接電鍍

用於沉金電鍍工藝過程

蓋孔能力優異

鍍金性能可達100μin

項目
單位
MP515
MP520
備注
厚度
μm
40
50

感度*1
mj/cm2
70
90

*短顯影時間
sec.
45
55

附著力*1*2(L/S=X/250)
μm
40
50

解析度*1*2(L/S=X/X)
μm
30
40

蓋孔孔徑
μm
6.0
7.0

*1:MP515(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數的中心值的曝光能量,海聖平行光曝光機製作(UVE-HSP5K-11

*2:1wt%Na2CO3,30℃,*短顯影時間x2

*3:分辨率、解析度以及顯影後圖像。



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